SMC IRV系列手动真空调节器低压控制性能考核试验

发布于:2023-01-22 ⋅ 阅读:(7) ⋅ 点赞:(0) ⋅ 评论:(0)

摘要:SMC IRV系列手动真空调节阀是一种真空型减压阀,通过外接真空泵可实现对密闭容器内的真空度进行调节和控制。为了考核此真空调节阀的调节范围和控制精度,本文介绍了针对此阀所进行的考核试验。考核试验采用了高精度的电容真空计和数据采集器,考核结果证明此阀的控制稳定性可以达到±0.5%,但并未达到标称的表压-100kPa的真空调节范围。


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一、背景介绍


在一些机械抓取和密闭腔体的真空压力控制过程中,需要直接采用调节阀实现真空度的精密调节和恒定控制。SMC IRV系列就是一类这种真空调节阀,手动操作调节,标称的真空度调节范围为绝压1.3~100kPa(表压-100~-1.3kPa)。


SMC IRV真空调节阀尽管给出了很多技术指标,但并未提供真空度调节控制的稳定性指标。为此,为了对此调节阀有更深入的了解,本文介绍了对此调节阀所进行的真空度控制稳定性短期考核试验。


二、SMC IRV真空调节阀简介


SMC IRV系列手动型真空调节阀如图1所示。

图1 SMC IRV系列手动型真空调节阀


SMC IRV系列真空调节阀的动作原理如下:


当手轮顺时针回转,设定弹簧力使膜片及主阀向下推动,VAC侧和SET侧接通,SET侧的真空度发生改变,向低压方向变化。


然后,SET侧的真空压力通过气路进入真空室,作用在膜片上方,与设定弹簧的压缩力相平衡,则SET侧的真空压力便被恒定。若SET侧的气压比设定值低,设定弹簧力和真空室的SET侧压力失去平衡,膜片被上拉,则主阀芯关闭,大气吸入阀芯开启,大气流入SET侧,当设定弹簧的压缩力与SET侧气压达到平衡时,SET侧真空压力便被恒定。


若SET侧的气压比设定值低,设定弹簧力和真空室SET侧压力失去平衡,膜片被推下,则大气吸入阀芯关闭,主阀芯开启,VAC侧和SET.侧接通,SET侧的气压减小,当设定弹簧的压缩力与SET侧气压达到平衡时,SET侧的真空压力便被恒定。


SMC IRV系列调节阀标称的真空度调节范围为绝压1.3~100kPa(表压-100~-1.3kPa)。


三、考核试验装置


为了考核SMC IRV系列真空调节阀的性能指标,所搭建的考核试验装置如图2所示,其中主要包括真空泵、真空腔体、电容真空计、高精度数据采集器和计算机。

图2 真空度控制稳定性考核试验装置结构示意图

 

为了准确测量真空调节范围和控制的稳定性,考核试验装置中的各个部件具有一些特性:


(1)真空腔体为一密闭腔体,即漏率很低,真空管路只有真空计和调节阀两个接口。


(2)真空度测量采用了精度较高的薄膜电容真空计,任意真空度下精度为0.25%,真空度测量的量程范围为1~1000Torr。


(3)为了充分利用电容真空计的测量精度,考核装置配备了安捷伦公司的六位半高精度数据采集器(34972A),并采用配套软件与计算机通讯以实时采集和显示真空度测量曲线。为了同时保证采集精度和速度,采样间隔设置为4s。


(4)为避免真空泵油对管路和真空调节阀的污染,考核装置特意配备了干泵以避免产生各种污染。


四、考核试验结果


整个考核过程是将SMC IRV顺时针从关闭到全开进行多个位置的真空度调节,然后再逆时针从全开到全闭进行多个不同位置的真空度调节。此试验过程得到的真空度变化曲线如图3所示。

图3 全过程考核试验中的真空度变化曲线

 

从上述试验结果可以看出,SMC IRV的最高真空度(最低气压)只能控制在130Torr附近,用表压表示就是最高真空度只能达到-84kPa,并未达到-100kPa的标称值。


为了观察SMC IRV调节阀的真空度控制稳定性,将图3采集的真空度曲线进行放大观察,可以清晰看到在每个真空度控制位置的波动性,如图4所示。

图4 不同手调位置处真空度恒定控制的波动性

 

五、结论


从上述短时间考核试验结果,可以得出以下结论:


(1)在全真空度范围内,真空度恒定的波动性优于±0.5%。


(2)调节控制时间受真空腔体容积大小的影响,容积越小,真空度达到稳定的速度越快。


(3)SMC IRV系列真空调节阀并未达到标称技术指标-100kPa,仅为-84kPa。